課程概述
表面處理簡介物理氣象沉積（PVD）、化學氣象沉積（CVD） 和等離子體輔助化學氣相沉積（PECVD）真空濺鍍技術缺陷和處理方案新技術及案例
培訓對象
研發(fā)工程師、采購工程師、工藝工程師
課程收益
了解表面處理技術及其發(fā)展趨勢
課程內容
一、表面處理簡介
二、物理氣象沉積（PVD）、化學氣象沉積（CVD） 和等離子體輔助化學氣相沉積（PECVD）
三、真空濺鍍技術
四、缺陷和處理方案
五、新技術及案例
? 蒸發(fā)鍍
a.電子槍蒸發(fā)；b.電阻絲蒸發(fā)
? 濺射鍍
a.單體式；b.連續(xù)式；c.枚葉式。
? 離子鍍
a.電弧離子鍍；b.磁控離子鍍；c.電弧+磁控離子鍍
